エレメント有限会社は高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。
エレメント有限会社  TEL 042−786−5063
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〒252-0331 神奈川県相模原市南区大野台5-13-3
弊社は高圧電源ユニットはもとより高圧配線、安全対策、高圧電極、試料台等トータルでサポートさせていただいております。
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 高圧電源を初めてご使用される方、加速、偏向是非ご相談下さい。
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 高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。



静電チャック
概要
静電チャックにはよる制御は単極、双極仕様、1CH、2CH、タイマ制御及び静電チャック自体の製品試験まで広い分野で
お手伝いさせていただいております。
最近では静電チャック以外でも2CH制御やタイマ制御の需要が増えております。
初めての方はレンタルで単純に吸着できるか確認されることをお勧めします。

静電チャック1
商品紹介2 レンタル電源 商品紹介3 1CH双極 2CH双極 商品紹介5
  レンタル電源   1CH双極   2CH双極  
静電チャック2
  単極試験 双極検査 双極エージング  
  単極試験 双極検査  
静電チャック3
4分配双極  ±2.5kV双極 自動剥離
4分配双極  ±2.5kV双極 自動剥離
静電チャック4
その他
電気のクーロン力を用いてシリコンウエハやパネルを吸着する装置が一般的な静電チャック装置です。
かつては、絶縁材料や面精度の問題もWり、貼り合わせ装置等で真空引き開始時に亜真空状態になり、大きなリーク電流を消費する場合もございました。近年は面精度の向上や絶縁材料の進歩により、リーク電流は無くなりました。
半導体製造装置における吸着の場合は単極で十分な場合も多いようです。
液晶ディスプレイやFPD用ガラスパネルは、面積も大きく、双極で使用される場合が多いです。
弊社の製品は、双極性の場合、基本的に極性切換機能を搭載しております。
極性切換によりスムーズな剥離はもとより接着性の向上にも寄与しております。
ラミネート加工にも用いられるケースもございます。
概要
弊社では高電圧に関わる製品を各種取り揃えております。
その他1
  POM碍子     アース棒    コロナ電極  
  POM碍子   アース棒    コロナ電極   
その他2
  高圧安全対策   スパーク試験    ディスペンサスタンド  
   高圧安全対策   スパーク試験   ディスペンサスタンド  
その他3
高電圧を操る場合、高圧電源ユニットや負荷を守るために高圧抵抗、ギャップアレスタ等保護素子を
使用する場合がございます。
数kV程度までは市販品のステアタイト碍子等を使用します。もっと高い電圧では、弊社はPOM製碍子
をお勧めします。
高電圧メンテナンスにはアース棒は欠かせません。複数の高電圧を使用する場合は、いかにアースを均一
に配線するか、そのようなときアースバーは必需品です。
高電圧を扱う場合の注意事項

高電圧は非常に危険です。取扱方法を間違えると感電したり、故障したりすることもございます。
しかしながら、負荷の必要性上使用しなければならない場合は多々ございます。

1、高電圧配線  、 
  高電圧電源ユニットからでている高圧線の先端に負荷とジョイントする為には、半田付け、圧着
  端子、ネジとめ、ワニグチクリップ等で接続します。この接続部分は当然高電圧雰囲氣下になり
  ます。十分な周りとの沿面距離、アースとの距離が必要になります。距離が取れない場合は絶縁部
  で覆うなどの工夫が必要です。
2、高電圧負荷
  様々な負荷がございますが、交換時等は手で触れなくてはならない場合がございます。必ずアース棒
  等で除電してから触れてください。高圧電線や負荷に電荷が残っており、感電する場合がございます。
  また、負荷をアース面から浮かすにはPOM碍子等絶縁樹脂も必要になります。
3、アース
  ある意味一番重要なファクターです。まず第3種アースを高圧電源ユニットに配線するのは、人体の安全
  の為です。アースに落ちていないとユニット自体の電位が上がってしまう場合がございます。
  弊社の高圧電源ユニットは3P入力ケーブルのアースを筐体及び高圧電源のアースに接続しております。
  しかしながらアーク放電等頻発する場合にはなるべく太く短くアース線を取り直してください。
  負荷からの帰還線もアース線と呼びますが、こちらも太く、短くが原則です。

高圧電源について
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