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双極1CHタイマー電源ユニット
概要
双極1チャンネルタイマー制御高圧電源ユニットです。

DISCHARGE(放電) POLA(極性切換)用タイマー2台を搭載しております。

お客様の研究、開発、製造に適した配線方法、保護対策等あらゆる方面でお手伝い、ご提案させて頂いております。

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2CH双極静電チャック用高圧電源ユニットカタログPDFはこちら
双極検査1
フロントパネル リアパネル
双極検査2
様例  ELS−5K1PNJK02型   2014年1月〜2019年2月 真空関連装置開発企業様4台納入

<特色>この直流高圧電源ユニットは、CH双極静電チャックタイマー制御ユニットです。
      シーケンサー不要のシンプルな装置に適しております。
<仕様>
      1、 入力電圧AC100V±10%  2A以下   3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
      2、 出力電圧 正極 +5kV 1mA  負極−5kV 1mA
      3、 使用環境  温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
      4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 4台  モニター精度5%<FS ±1dgt
      5、 出力電圧可変 +CV1 +CV2  −CV1 −CV2   フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
      6、 モード切替スイッチ ミニトグルスイッチ 1個
      7、 HV0Nスイッチ ミニトグルスイッチ   1個  
      8、 DISCHARGEタイマー     1個    ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
      9、 POLAタイマー          1個 ON時極性反転高電圧出力
     10、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 2個
     11、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
     12、 外形寸法 W480×H149×D430mm程度
         
取扱説明書PDFはこちら

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