エレメント有限会社は高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。
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高圧電源を初めてご使用される方、是非ご相談下さい。
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双極検査
概要
双極1チャンネル静電チャック単体の検査用に開発された高圧電源ユニットです。
耐電圧測定、絶縁抵抗測定の2種類のモードを有しております。
双極検査1
フロントパネル リアパネル
双極検査
双極検査2
様例  ELS−5K1PNLIC2型   2012年1月 静電チャック関係検査会社様納入

<特色>この直流高圧電源ユニットは、CH双極静電チャック単体検査専用ユニットです。
      ワークを吸着し、耐電圧測定、絶縁抵抗測定を行います。
<仕様>
      1、 入力電圧AC100V±10%  2A以下   3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
      2、 出力電圧 モード1 0〜+3.000kV 3000μA  −3.000kV 3000μA
                 モード2 0〜+6.000kV 50μA    −6.000kV 50μA   入出力変動率±0.01%以下  リップル 0.1%以下
      3、 使用環境  温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
      4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 4台  モニター精度5%<FS ±1dgt
      5、 出力電圧可変 +CV −CV POLA   フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 3個
      6、 モード切替スイッチ ミニトグルスイッチ 1個
         (1)耐電圧測定    POLA
         (2)絶縁抵抗測定   
      7、 HV0Nスイッチ ミニトグルスイッチ   1個  
      8、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ     1個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
      9、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ   1個 ON時極性反転高電圧出力
     10、 DUAL/SINGLEスイッチ モニトグルスイッチ 1個  DUAL時+CVによる正負対称操作、SINGLE時+CV −CV各操作
     11、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 2個
     12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
     13、 外形寸法 W480×H199×D430mm程度
         
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注意事項その他
通常の双極静電チャック用高圧電源ユニットとしてもご使用になれます。