自動剥離電源ユニット |
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吸着、剥離はもとより極性切換機能を有しており、接着性の強化、スムーズな剥離、ラミネート処理等に最適です。
タイマー制御方式の2CH双極静電チャック用高圧電源ユニットです。CPU制御が必要ございません。
正極を印加しタイマー1設定時間に基づきディスチャージ開始タイマー2設定時間に基づき剥離用負極に切換ます。
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極性切換機能を搭載しておりスムーズに剥離できます。
同じ負荷を繰り返し試験する場合には有利ですが、大きく負荷が変わる場合は
通常のマニュアル方式をお勧めします。 |
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フロントパネル |
リアパネル |
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仕様例 ELS−5K1PNS1型 2009年2月真空機器製造会社様納入 定価¥990,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAと0〜−5kV 1mAの正負各2出力を有した2CH双極静電チャック専用ユニットです。
自動でワークを吸着しディスチャージ及び極性切換動作により剥離致します。高圧出力部は正負4出力です。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA 負極出力 0〜−5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 4台 5.00kV/1.000mA −5.00kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 2個 CH1 CH2
7、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ 2個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用
8、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
11、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 4個
12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
14、 外部インターフェース 10P端子台PIN配置
1P CH1 VM (0〜+5kV時0〜+5VDC)
2P 0V
3P CH1 CM (0〜1mA時0〜+10VDC)
4P CH2 VM (0〜−5kV時0〜−5VDC)
5P 0V
6P CH2CM (0〜1mA時0〜+10VDC)
7P CH1 ON
8P 0V
9P CH2 ON
10P 0V
*7P8P短絡時CH1吸着、短絡解除後内部タイマーにて自動ディスチャージ、自動剥離
*9P10P短絡時CH2吸着、短絡解除後内部タイマーにて自動ディスチャージ、自動剥離
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