仕様例 ELCG−10KNG1#1型 標準価格¥6,000,000.−(税抜) 2018年9月 半導体関連企業様納入
<特色>
このコロナ放電システムは各種エレクトリック素材へのコロナ放電による帯電処理を行うための自動装置です。
コロナ電極はワイヤー方式です。グリッド電極を備えており、サンプルにグリッド電源電圧値近傍の値を均等に帯電できます。
コントロールユニット、コロナ放電冶具ユニットの構成です。
高さ1500mm奥行き850mmの市販品19インチラックに収納致します。
天板に3色シグナルタワー及び排気ダクト用通風孔を設けております。上段にコントロールユニット中段にコロナ放電冶具ユニットを配置致します。
下段はオープンスペースです。機器収納用にサポートアングル4本、棚板2枚を用意しフロントパネルはブランクパネルを使用致します。
中段のワーク台には温度分布が優れた(目標値R≦2℃)仕様の精密ホットプレートを使用致します。アース接触の都合上アルマイト処理は致しません。
サンプルをワーク台に配置する場合は、アース接触の良い構造のホルダーを貴社にてご用意願います。
サイズはW200×D300×H50mmです。最大ストローク350mm程度常温〜180℃を温調計によるSSR制御致します。
コントロールユニット上の温調計にて温度設定、制御致します。
中段のコロナ放電冶具ユニット前面には透明明アクリルドアを採用しております。
開放時は安全のため、内部高圧電源の出力を遮断致します。(ヒーター用電源は遮断いたしません。)
安全の為、上段にEMGスイッチ(非常停止スイッチ)を設けております。
緊急に停止する場合にご使用下さい。ブザーが鳴動し、高圧電源、ヒーター電源、シリンダーの各入力電源を遮断します。ブザー音を
ストップするためにブザーリセットスイッチを設けております。
帯電処理時間の設定はフロントパネルの電子タイマーを用いて行います。
AUTOモードの1、2、3、の何れか選択頂き、各モードに必要な時間を電子タイマーに設定願います。(1SEC〜9999SEC)
AUTO1はサンプル形状Φ20mm以下並列5個程度と規定します。
スピード25mm/SEC タイマー設定時間分帯電処理後原点復帰AUTO2はサンプル形状A4サイズ1枚と規定します。
スピード25mm/SEC 40mm毎に停止しタイマー設定時間分8回帯電処理後原点復帰
AUTO3はサンプル形状A4サイズ1枚と規定します。100mm毎に停止しタイマー設定時間分3回帯電処理後原点復帰。
上記以外のサンプルは、MANUモードにて手動操作でご使用下さい。
AUTO1設定の場合は、スタート後コロナ電極まで移動しタイマー設定時間中帯電処理を行い、終了後原点復帰致します。
AUTO2設定の場合はスタート後コロナ電極まで移動し、前に40mm8回タイマー設定時間毎に帯電処理、終了後原点復帰致します。
AUTO3設定の場合はスタート後コロナ電極まで移動し、前に20mm16回タイマー設定時間頃に帯電処理し終了後原点復帰致します。
動作確認用にラック天板に3色シグナルタワーを設けます。装置が運転OK時緑色点灯、ヒーター電源ON時橙色点灯、高圧電源
動作中は赤色を点灯致します。コロナ、グリッド各電極は手動ステージ機構にて上下10mm移動できます。
グリッド電極は使用しない場合を考慮し取り外し易い構造です。ラック天板にはオゾン排気用の100φの通風孔を設けてあります。
オゾン臭軽減用に触媒を用いたフィルターユニットもコロナ電極上部に配置しております。
<仕様1>
コントロールユニット
1、
入力電圧 AC100V±10% 30A 漏電ブレーカー使用
2、
高圧電源
コロナ電源
0〜−10kV 3mA
グリッド電源 0〜−3kV 3mA
3、出力モニター kV/mAスイッチにて切換読み取り
電圧、電流デジタルパネルメーター 2台
−10.00kV/3.00mA
−3.00kV/3.00mA
4、高圧ON HV ONスイッチ 1個
ON時高圧出力
5、出力可変 電圧(CV)2個
フロントパネル5kΩアナログダイアル付きヘリカルポット 2個
6、高圧出力 レセプタクル 15kVコネクター 2個
プラグ 〃 2m先端端子付 2本
7、保護回路 ショート及び過負荷電流に対してCC設定電流値の約105%にて
自動垂下、自動復帰方式
8、温調計 1台 SSR駆動 ヒーターONスイッチ HTON 1個
K型熱電対1本(ワーク台へ )
9、電動シリンダーコントロール
(1)AUTO操作 1、2、3の何れかスイッチをONにて自動処理
(2)MANU操作 往復を←、→スイッチ2個にてジョグ動作致します。
(3)EMG 非常停止スイッチ 1個
(4)ブザー、ブザーリセットスイッチ 1個
10、外形寸法 W480×H199×D430 mm 程度
11、I/Fコネクター 25PDUBコネクター 1本
(ドアリミットスイッチ、シグナルタワー、電動シリンダー制御等)
<仕様2>
コロナ放電冶具ユニット
1、コロナ放電電極
タングステンワイヤー 0.05mm バネテンション方式
高圧印加ターミナル 1個 ガード電極ターミナル 1個
外形寸法 W300×H15×D30mm程度 上下10mm可動機構
耐高圧印加試験 高圧印加ターミナル〜ガード電極間 WVDC−9kV連続
上下10mm可動機構
2、グリッド電極 W200×D30×1mm程度
ステンレスメッシュ 20メッシュ使用 上下10mm可動機構
3、
ワーク台W200×D300mm×H50mm程度
精密ホットプレート 半導体対応の温度分布(120℃ 目標値R≦2℃)仕様
ヒーターにて最大180℃まで加熱が可能です。
4、
外形寸法 W570×H1500×D850mm程度
(レベラー付きキャスター)
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