エレメント有限会社は高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。
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〒252-0331 神奈川県相模原市南区大野台5-13-3
高圧電源を初めてご使用される方、是非ご相談下さい。
 高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。




大型自動コロナ放電システム
概要
コロナ針電極から弊社のワイヤー電極方式に変更される方が増えております。
熱エレクトレット帯電の自動化装置です。
コロナ放電電極、グリッド電極を有してワークサイズW200mm×D300mm t=1mm程度
のポリマー樹脂に自動で帯電させるシステムです。
最大コロナ放電電圧は−9kVです。
オゾン対策としまして触媒ユニットと排気ファンを搭載しております。



熱エレクトレット素子や不織布の荷電処理、圧電素子の帯電処理、ガラスの表面改質、シリコンウエハの定着処理等
幅広い分野でご使用頂いております。

分極処理におきましては、”シリコンオイルを使用しないので非常に扱い易い”と好評価をいただいております。

近年、上下同時帯電処理というご要望も増えております。

エネルギーハーベスティング技術のひとつである振動エネルギーの分野でもご好評いただいております。

高電圧を使用し且つオゾンが発生します。安全の為、ドラフターやグローブボックスをご用意ください。
負極は正極に比べて約2倍のオゾンが発生します。換気には十分なご配慮をお願いします。

大型自動コロナ放電システム1
フロントパネル
大型自動コロナ放電システム 大型自動コロナ放電システム
大型自動コロナ放電システム2
仕様例 ELSYS−15KNG1N型      標準価格¥5,000,000.−(税抜)    2010年9月 半導体関連企業様納入

<特色>このコロナ放電システムはコントロールユニット、コロナ&グリッド電極ユニットを19インチ市販品ラックに収納した自動システムです。
      中段にコントロールユニット、上段にコロナ放電処理ユニットを配置しております。操作しづらい下段は各種機器収納用オープンスペースです。
      上段は前面が透明アクリルドアとなっております。ドア開時高圧電源出力は遮断します。(ヒーター電源は遮断しません。)
      Y軸電動シリンダーはAUTO時は瞬時停止致します。MANU時は←→のスイッチにて前後ジョグ操作できます。
      同システム動作確認用にラック上部に3色シグナルタワーを設けております。運転OK時緑色点灯、ヒーターON時橙色点灯、高電圧印加時赤色点灯です。
      ワーク台サイズはW200×D300 t=5mm SUS304製です。最大前後ストローク約350mmです。
      加熱機構はスペースヒーターを使用し常温〜200℃程度です。K型熱電対で読み取り温調計にてSSR制御致します。
      コロナ、グリッド各電極は上下10mm移動可能です。グリッド電極は取り外し可能な構造です。
      オゾン排気用にラック天井部には100Φの通風孔を設けております。ファンモーター1個にて強制送風致します。
      安全の為、EMGスイッチを設けております。緊急停止時にご使用下さい。ブザーが鳴動し各電源及びシリンダーを停止します。
      ブザー音をストップする為にBZRST(ブザーリセット)スイッチを設けております。ブザーを消し、異常を取り除き、再処理開始下さい。

<仕様>
1、入力電圧 AC100V±10% 15A  入力ケーブル3m1本付属 
2、コロナ放電用高圧電源   0〜−15kV 2mA    コロナ電極 50μタングステンワイヤ方式    (定常最大使用電圧−9kV)
3、グリッド用高圧電源     0〜−2kV 4mA     グリッド電極 03mmダイアカットメッシュ方式   (定常最大使用電圧−2kV)
4、出力モニター 電圧、電流用デジタルパネルメーター 4台 コロナ −9.00kV 1.999mA グリッド  −1.999kV 4.00mA
5、高圧ON HVONスイッチ 2個  コロナ用、グリッド用  ON時各高圧電源出力 
6、高圧電源出力設定 CCV GCV  フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 各1個
7、高圧出力部   コロナ出力 HST15−R 1個   グリッド出力 MHV−R 1個
8、温調計 1台  HTONスイッチONにて昇温開始 K型熱電対 SSR駆動  常温〜200℃程度 
9、電装シリンダー制御 
   (1)AUTO操作  3個のスピードモード選択スイッチ 1、 2、 3、の何れかのスイッチONで1往復動作
   (2)MANU操作  2個の→←スイッチを用いてON時ジョグ動作致します
   (3)EMGスイッチ コロナ放電処理中に異常を見つけた場合に押して下さい。。 
   (4)BZRSTスイッチ 上記ブザー鳴動音を消す場合に押して下さい

10、外形寸法  操作部    W480mm×D430mm×H199mm程度
            全体     W570mm×D850mm×H1250mm+キャスター



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