±2.5kV双極電源ユニット |
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吸着、剥離はもとより極性切換機能を有しており、接着性の強化、スムーズな剥離、ラミネート処理等に最適です
2チャンネルの最大印加電圧正負2.5kV 1mAの双極静電チャック用高圧電源ユニットです。
静電チャックの耐圧の都合に合わせております。
静電チャック自体の吸着性が良く通常の最大出力の半分です。
静電チャックや負荷の都合で高い電圧が好ましく無い場合がございます。 |
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フロントパネル |
リアパネル |
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仕様例 ELS−2.5K1PNJKW01型 2012年4月 真空装置開発会社様納入 定価¥850,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+2.5kV 1mAと0〜−2.5kV 1mAの正負各2出力を有した2CH双極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージ及び極性切換動作により剥離致します。高圧出力部は正負4出力です。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 正極出力電圧 0〜+2.5kV 1mA 負極出力 0〜−2.5kV 1mA 入出力変動率±0.01%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 2.50kV/1.000mA −2.50kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力電圧可変 CV フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ 2個 ON時吸着高電圧出力
7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ 2個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
8、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ 2個 ON時極性反転高電圧出力
9、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ 2個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用
10、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
11、 高圧出力部 樹脂絶縁方式 1P端子台 4個
12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
14、 外部インターフェース 20P端子台PIN配置
1P HV1ON
2P 0V
3P DIS1
4P 0V
5P POLA1
6P 0V
7P HV2ON
8P 0V
9P DIS2
10P 0V
11P POLA2
12P 0V
*EXTONスイッチON時有効 各奇数、偶数PIN短絡時有効
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