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エージング用双極静電チャック高圧電源ユニット
概要
この高圧電源ユニットは、双極エージング用の1チャンネル静電チャックユニットです。

長時間にわたり、チャッキングが問題ないかをチェックするのに最適です。

極性反転機能がございませんのでゆっくり剥離します。




単極検査1
フロントパネル リアパネル
単極検査2
仕様例  ELS−5K1PNCK/100V2型  2009年5月 2018年1月 2021年7月  静電チャック関連会社様納入  定価¥750,000.−(税抜き)

<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+5kV 1mAと0〜−5kV 1mAの正負2出力を有した1CH双極静電チャック専用ユニットです。
      ワークを吸着しディスチャージにより剥離致します。高圧出力部は正負1系統SHVコネクター出力です。
<仕様>
      1、 入力電圧AC100V±10%  2A以下   3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
      2、 正極出力電圧 0〜+5kV 1mA  負極出力 0〜−5kV 1mA   入出力変動率±0.01%以下  リップル 0.1%以下
      3、 使用環境  温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
      4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台 5.00kV/1.000mA −5.00kV/1.000mA切替式 モニター精度5%<FS ±1dgt
      5、 出力電圧可変 CV  フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
      6、 HVONスイッチ ミニトグルスイッチ   1個 ON時吸着高電圧出力
      7、 DISスイッチ ミニトグルスイッチ     1個 ON時内部1MΩ抵抗によるディスチャージ
      8、 POLAスイッチ ミニツグルスイッチ   1個 ON時極性反転高電圧出力
      9、 kV/mAスイッチ ミニトグルスイッチ  1個 正負モニター電圧/電流表示切換時使用 
     10、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 ON時外部信号操作
     11、 高圧出力部 SHV−R 2個
     12、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対して最大電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
     13、 外形寸法 W430×H149×D430mm程度
     14、 外部インターフェース  16P端子台PIN配置
         1P +VM  
         2P  0V    
         3P +CM
         4P −VM
         5P  0V
         6P −CM
         7P HVON
         8P  0V
         9P DIS
         10P 0V
         11P〜16P NC
      

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