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単極静電チャック電源ユニット |
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静電チャック特性試験用に負荷や接続の異常時に過電流が発生した場合に瞬時に高電圧出力を遮断するＯＬ機能を搭載しております。
剥離時間短縮用にディスチャージスイッチも設けております。
小型ハンデイーボックスタイプですので持ち運びにたいへん便利です。
静電チャック自体の初期吸着試験に最適です。
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| フロントパネル正極 |
リアパネル |
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仕様例 ＥＬＳ−５Ｋ１ＰＣＫ１型 ２０１１年４月 静電チャック関係開発会社様納入 定価￥５００，０００．−（税抜き）
＜特色＞この直流高圧電源ユニットは、出力０〜＋５ｋＶ １ｍＡの１ＣＨ単極静電チャック専用ユニットです。
ワークを吸着しディスチャージにより剥離致します。高圧出力部はＳＨＶコネクターです。
＜仕様＞
１、 入力電圧ＡＣ１００Ｖ±１０％ ２Ａ以下 ３Ｐインレット付き入力ケーブル２ｍ １本付属
２、 正極出力電圧 ０〜＋５ｋＶ １ｍＡ 入出力変動率±０．０１％以下 リップル ０．１％以下
３、 使用環境 温度 ０℃〜５０℃ 湿度 ２０％〜８０％（結露なきこと）
４、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター ２台 ５．００ｋＶ １．０００ｍＡ モニター精度５％＜ＦＳ ±１ｄｇｔ
５、 出力電圧可変 ＣＶ フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット １個
６、 ＨＶＯＮスイッチ ミニトグルスイッチ １個 ＯＮ時吸着高電圧出力
７、 ＤＩＳスイッチ ミニトグルスイッチ １個 ＯＮ時内部１０ｋΩ抵抗によるディスチャージ
８、 高圧出力部 ＳＨＶ−Ｒ １個
９、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対してＯＬ設定電流の約１０５％にて自動垂下、自動復帰方式
１０、 外形寸法 Ｗ２３０×Ｈ１４５×Ｄ３１０ｍｍ程度
１４、 外部インターフェース １６Ｐ端子台ＰＩＮ配置
１Ｐ〜４Ｐ ＮＣ
５Ｐ ＶＭ（０〜＋５ｋＶ時０〜＋５ＶＤＣ）
６Ｐ ＣＭ（０〜１ｍＡ時０〜＋１０ＶＤＣ）
７Ｐ ０Ｖ モニターコモン
８Ｐ ＨＶＯＫ１
９Ｐ ＨＶＯＫ２ ＊８Ｐ９Ｐ短絡時高電圧出力ＯＫ インターロック端子 出荷時ショートバー実装
１０Ｐ ＳＴＡＴＵＳ ＣＯＭ
１１Ｐ ＳＴＡＴＵＳ ＮＯ
１２Ｐ ＳＴＡＴＵＳ ＮＣ ＊１０Ｐ１１Ｐ１２Ｐ ステータス信号 高圧出力時無電圧接点信号送出
１２Ｐ〜１６Ｐ ＮＣ
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