仕様例 ＥＫＣ−５Ｋ４０Ｐ／１００Ｅ型 ２０２４年３年 真空関連会社様納入
＜特色＞ ジョンソン・ラーベリク式静電チャック専用の高圧電源ユニットです。
外部電圧、電流制御機能、モニター機能、インタロック機能、ステータス機能を標準装備しております。
ＥＭＧ信号ｂ接点がＯＦＦになりますとＨＶＯＮスイッチの昭光部が消灯致します。
再復帰にはＥＭＧ信号をＯＮに解除し、ＨＶＯＮスイッチのＯＮが必要になります。
＜仕様＞ １、入力電圧 ＡＣ１００Ｖ±１０％ ７Ａ ３Ｐ２ｍ入力ケーブル １本付属
２、出力電圧 ０〜＋５ｋＶ ４０ｍＡ
３、変動率
入力変動率 ±０．０１％以下
出力変動率 ±０．０１％以下 リップル ０．１％程度
４、使用温度範囲 ０℃〜５０℃
５、湿度範囲 ２０％〜８０％（結露なきこと）
６、ＨＶＯＮスイッチ 赤色昭光式押しボタンスイッチモーメンタリー １個
７、ＨＶＯＦＦスイッチ 白色押しボタンスイッチモーメンタリー １個
８、出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター ２台
モニター精度 ５％＜ＦＳ ±１ｄｇｔ
出力電圧表示 ５．００ｋＶ 出力電流表示 ４０．０ｍＡ
９、出力可変 電圧（ＣＶ）（ＣＣ） フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット ２個
ＣＶ ０〜１００％可変 ＣＣ １％〜１００％可変
１０、ＥＸＴＯＮ スイッチ フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ １個
ＯＦＦ時フロントパネル ＣＶ、ＣＣ操作 ＥＸＴＯＮ時リアパネル端子台の信号によるＣＶ、ＣＣ操作
１１、リアパネル１６Ｐ端子台
１Ｐ ＲＥＦ（＋１０ＶＤＣ）
２Ｐ ０Ｖ
３Ｐ ＥＸＴ ＣＶ（０〜＋１０ＶＤＣ）入力インピーダンス１００ｋΩ
４Ｐ ＥＸＴ ＣＣ（０〜＋１０ＶＤＣ）入力インピーダンス１００ｋΩ
５Ｐ ＶＭ（０〜５ＶＤＣ）０〜＋５ｋＶ 出力インピーダンス１ｋΩ
６Ｐ ＣＭ（０〜４ＶＤＣ）０〜４０ｍＡ 〃
７Ｐ ０Ｖ
８Ｐ ＨＶ ＯＮ ＊ＥＭＧ信号ｂ接点を接続願います。
９Ｐ ＨＶ ＯＮ ９Ｐ、１０Ｐ短絡時高圧出力ＯＮ
１０Ｐ ＥＭＧ ＣＯＭ ＊ＥＭＧ信号に同期した信号を出力します。
１１Ｐ ＥＭＧ ＮＯ
１２Ｐ ＥＭＧ ＮＣ
１３Ｐ〜１６Ｐ ＮＣ
１２、高圧出力部 高圧コネクターレセプタクル Ａ４００ＱＸ １個
〃 プラグ Ａ６００ＱＸ１ｍ先端未処理 １本
アース線 ０．７５□３ｍ両端Ｍ６圧着端子 １本
１３、保護回路 ショート及び過負荷電流に対してＣＣ設定電流値の約１０５％にて自動垂下自動復帰方式
１４、外形寸法 Ｗ４８０×Ｈ１４９×Ｄ４３０ｍｍ程度
お気軽にご相談下さい。 info@element-hv.com
個人情報保護方針
ＴＥＬ ０４２−７８６−５０６３
ＦＡＸ ０４２−７８６−５０６５
Ｅ−mail info@element-hv.com
エレメント有限会社
|
