静電チャック専用高圧電源ユニットレンタル |
 |
吸着、剥離はもとより、極性切換機能を有しており、接着性の強化、スムーズな剥離ラミネート処理等に最適です。
1チャンネルの双極用静電チャック専用の高圧電源ユニッです。単極にも使用できます。
吸着、剥離がスムーズに行なえます。 高圧ON、ディスチャージ、POLAの3つのスイッチにてスムーズにチャック、ディスチャージ、デチャックが行えます。
必ずレンタル同意書をお読みください。 |
|
 |
|
フロントパネル |
リアパネル |
 |
 |
|
 |
仕様例 静電チャック専用高圧電源ユニット ELSL−CK01型 月額標準価格¥90,000.−(税別)
<特色>この高圧電源ユニットは、静電チャック専用の高圧電源ユニットです。
単極、双極いずれにも使用でします。吸着、隔離がスムーズに行えます。
外部制御機能、外部モニター機能標準装備しております。
高圧出力部には、耐圧DC5kVのSHVコネクターを使用しております。
<仕様>
1、 入力電圧AC100V±10% 2A以下 3Pインレット付き入力ケーブル2m 1本付属
2、 出力電圧正極 0〜+4kV 2mA 負極−4kV 2mA 入出力変動率±0.1%以下 リップル 0.1%以下
3、 使用環境 温度 0℃〜50℃ 湿度 20%〜80%(結露なきこと)
4、 出力モニター フロントパネルデジタルパネルメーター 2台切換式 電圧4.00kV/2.00mA −4.00kV/2.00mA表示 モニター精度5%<FS ±1dgt
5、 出力可変 電圧(CV) フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 4個
6、 EXTONスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 EXTOFF時フロントパネルスイッチ操作 EXT時外部接点信号操作
7、 EXTCVスイッチ ロック式ミニトグルスイッチ 1個 EXTCVOFF時フロントパネルCV制御 EXTCVON時外部制御入力制御
8、 高圧出力部 SHV−R 2個 SHV−P2m先端未処理 2本
9、 保護回路 ショート及び過負荷電流に対してCC設定電流の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
10、 外形寸法 W480×H149×D430mm程度
11、 外部インターフェース 16P端子台PIN配置
1P HVON
2P 0V
3P DISCHARGE0N
4P 0V
5P POLA
6P 0V
7P +VM(0〜+4VDC) 正極電圧モニター 出力インピーダンス約1kΩ
8P +SG
9P −VM(0〜−4VDC) 負極電圧モニター 出力インピーダンス約1kΩ
10P −SG
11P +ECV(0〜+10VDC) 正極電圧制御信号
12P +SG
13P −ECV(0〜+10VDC) 負極電圧制御信号
14P −SG
15P〜16P NC
お気軽にご相談下さい。 info@element-hv.com
個人情報保護方針
TEL 042−786−5063
FAX 042−786−5065
E−mail info@element-hv.com
エレメント有限会社
|
上記がレンタル予定品です。料金は月額制です。
1日でも1ヶ月です。数日でお貸し出しできる製品と2〜3週間お待ちいただく製品がございます。
実験日程と併せご確認願います。 |