エレメント有限会社は高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。
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高圧電源を初めてご使用される方、是非ご相談下さい。
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初期試験直流高圧電源ユニット
概要
各種試験、実験用に開発された直流高圧電源ユニットです。
静電チャックの初期試験や開発にも最適です。

放電試験等の場合、初期放電では、アクシデント的に周辺機器にノイズをばらまき、誤動作や故障に繋がる場合がございます。

初期設定はOLT/CCモードをOLT側に設定頂きます。一度の放電や過電流で高圧電源ユニットの出力をOFFします。
いろいろな問題点を検討、排除頂き、CCモードに設定頂きます。
連続放電試験等にも最適です。

4分配双極1
フロントパネル リアパネル
4分配双極2
仕様例  ELS100−30K3.3PSK3型      2020年11月  半導体関連開発企業様納入    定価¥850,000.−(税抜き)

<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+30kV 3.3mA

高圧電源ユニットです。

外部電圧制御機能、モニター機能、インタロック機能、ステータス

機能、CC/OLT機能を標準装備しております。

<仕様>

1、  入力電圧   AC100V±10%  3A

         3P2m入力ケーブル 1本付属

2、  出力電圧   0〜+30kV  3.3mA

3、  変動率   入力変動率 ±0.01%以下

         出力変動率 ±0.01%以下 

リップル   0.05%以下

4、使用温度範囲 0℃〜50℃

5、湿度範囲   20%〜80%(結露なきこと)

6、出力モニター  

   フロントパネルデジタルパネルメーター 2台   

   出力電圧/電流表示   30.0kV/3.30mA

   モニター精度  5%<FS ±1dgt 

7、出力可変 電圧(CV)(CC)   

   フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット      2個

8、CC/OLT切換スイッチ

   フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ       1個

INT/EXTスイッチINT設定時

CC設定時過電流時CC設定電流値の約105%にて自動垂下、自動復帰方式

 OLT設定時過電流時CC設定電流値の約105%にて高圧出力遮断、POWER

 スイッチ再投入にて復帰

 INT/EXTスイッチEXT設定時

 リアパネル端子台15P16P、短絡時CC動作、解放時OLT動作

 出荷時ショートバー実装(CC制御) 

9、INT/EXT スイッチ

フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ       1個

   INT時フロントパネル CV、CC操作 CC/OLTスイッチ操作

   EXT時リアパネル端子台の信号によるCV、CC操作、CC/OLT操作

10、リアパネル16P端子台

    1P REF(+10VDC)

    2P 0V

    3P EXT CV(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ

    4P EXT CC(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ

    5P VM(0〜+3VDC)0〜+30kV  出力インピーダンス1kΩ 

    6P CM(0〜+3.3VDC)0〜3.3mA         〃

    7P 0V

    8P HV ON

    9P HV ON 9P、10P短絡時高圧出力ON(無電圧接点入力)

10P STATUS COM

    11P STATUS NO

    12P STATUS NC

    13P NC

    14P NC

    15P EXT OLT1

    16P EXT OLT2    15P16P短絡時OLT制御開時CC機能

 

11、高圧出力部   HST35R型高圧コネクター         1個  

HST35P型高圧コネクター2m先端未処理  1本

          アース線 0.75□2m両端M6圧着端子   1本

12、保護回路  ショート及び過負荷電流に対してCC設定電流値の約105%にて

OLT又はCC動作

 

13、外形寸法   W480×H149×D430mm程度 

          

   

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