仕様例 ELS100−30K3.3PSK3型 2020年11月 半導体関連開発企業様納入 定価¥850,000.−(税抜き)
<特色>この直流高圧電源ユニットは、出力0〜+30kV 3.3mA
高圧電源ユニットです。
外部電圧制御機能、モニター機能、インタロック機能、ステータス
機能、CC/OLT機能を標準装備しております。
<仕様>
1、
入力電圧 AC100V±10% 3A
3P2m入力ケーブル 1本付属
2、
出力電圧 0〜+30kV 3.3mA
3、
変動率 入力変動率 ±0.01%以下
出力変動率 ±0.01%以下
リップル 0.05%以下
4、使用温度範囲 0℃〜50℃
5、湿度範囲 20%〜80%(結露なきこと)
6、出力モニター
フロントパネルデジタルパネルメーター 2台
出力電圧/電流表示 30.0kV/3.30mA
モニター精度 5%<FS ±1dgt
7、出力可変 電圧(CV)(CC)
フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 2個
8、CC/OLT切換スイッチ
フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ 1個
INT/EXTスイッチINT設定時
CC設定時過電流時CC設定電流値の約105%にて自動垂下、自動復帰方式
OLT設定時過電流時CC設定電流値の約105%にて高圧出力遮断、POWER
スイッチ再投入にて復帰
INT/EXTスイッチEXT設定時
リアパネル端子台15P16P、短絡時CC動作、解放時OLT動作
出荷時ショートバー実装(CC制御)
9、INT/EXT スイッチ
フロントパネル ロッキング式ミニトグルスイッチ 1個
INT時フロントパネル CV、CC操作 CC/OLTスイッチ操作
EXT時リアパネル端子台の信号によるCV、CC操作、CC/OLT操作
10、リアパネル16P端子台
1P REF(+10VDC)
2P 0V
3P EXT CV(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ
4P EXT CC(0〜+10VDC)入力インピーダンス100kΩ
5P VM(0〜+3VDC)0〜+30kV 出力インピーダンス1kΩ
6P CM(0〜+3.3VDC)0〜3.3mA 〃
7P 0V
8P HV ON
9P HV ON 9P、10P短絡時高圧出力ON(無電圧接点入力)
10P STATUS COM
11P STATUS NO
12P STATUS NC
13P NC
14P NC
15P EXT OLT1
16P EXT OLT2 15P16P短絡時OLT制御開時CC機能
11、高圧出力部 HST35R型高圧コネクター 1個
HST35P型高圧コネクター2m先端未処理 1本
アース線 0.75□2m両端M6圧着端子 1本
12、保護回路 ショート及び過負荷電流に対してCC設定電流値の約105%にて
OLT又はCC動作
13、外形寸法 W480×H149×D430mm程度
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