エレメント有限会社は高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。
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高圧電源を初めてご使用される方、是非ご相談下さい。
 高圧電源・高電圧システムのマイスターとして様々なご要望にお応えできると確信しております。




自動コロナ放電システム
概要
コロナ針電極放電から弊社のワイヤー電極方式に乗り換えられる方が増えております。

本製品はコントロール、コロナ放電電極、グリッド電極、稼動ワーク台が1体になった卓上式自動コロナ放電システムです。重量約23kg。


Y軸電動シリンダーにてY方向に200mm移動しコロナ帯電処理を行います。

ワーク台サイズ180×180mmワークφ37mm t=1mm以下を最大16枚実装できます。

2対の手動Z軸ステージにてコロナ放電電極、グリッド電極の高さを調節願います

熱エレクトレット素子や不織布の荷電処理、圧電素子の帯電処理、ガラスの表面改質、シリコンウエハの定着処理等

幅広い分野でご使用頂いております。

近年、上下同時帯電処理というご要望も増えております。

分極処理におきましては、”シリコンオイルを使用しないので非常に扱い易い”と好評価をいただいております。

エネルギーハーベスティング技術のひとつである振動エネルギーの分野でもご好評いただいております。

高電圧を使用し且つオゾンが発生します。安全の為、ドラフターやグローブボックスをご用意ください。
負極は正極に比べて約2倍のオゾンが発生します。換気には十分なご配慮をお願いします。


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負極自動コロナ放電システム1
フロントパネル リアパネル
負極自動コロナ放電システム
負極自動コロナ放電システム2
仕様例  ELCG−02ASN(P)型   N=負極 P=正極   標準価格¥2,600,000.−(税抜) 2012年8月負極 半導体関連企業様納入
                                                                   2013年8月正極 半導体関連企業様納入 
                                                                   2023年4月負極 デバイス開発企業様納入

                                                                           

<特色>このコロナ放電システムはコントロールユニット、コロナ&グリッド電極ユニット、加熱ワークユニットの3ユニット一体型の自動システムです。
      Y軸電動シリンダーにて180mm移動し放電処理を致します。 加熱機構は有しておりません。     
      W180mm×D180mmのワーク台を有しており、ワークΦ37mmを16個を同時コロナ放電処理を致します。
      短時間で多数の処理を行えます。オゾンが発生致します。必ずドラフター等をご使用いただき、十分な換気をお願いします。

<仕様>
1、入力電圧 AC100V±10% 3A  入力ケーブル2m1本付属 
2、コロナ放電用高圧電源   0〜−10kV 3mA    コロナ電極 50μタングステンワイヤ方式    (定常最大使用電圧−9kV)
3、グリッド用高圧電源     0〜−3kV 3mA     グリッド電極 03mmダイアカットメッシュ方式   (定常最大使用電圧−3kV)
4、出力モニター 電圧、電流用デジタルパネルメーター  2台 kV/mAスイッチにて切り替え読み取り方式
5、高圧ON HVONスイッチ 1個 ON時コロナ、グリッド各電源ON  マニュアル操作時有効 
6、高圧電源出力設定 CCV GCV  フロントパネルアナログダイアル付きヘリカルポット 各1個
7、高圧出力部   コロナ出力 HST−15−R 1個   グリッド出力 SHV−R 1個
8、シリンダー操作 処理速度 3種類のスピート選択モードスイッチ
             AUTOスイッチON時自動コロナ放電処理  1工程終了
             MANUスイッチ 2個の→スイッチにてジョグ操作
             EMGスイッチ  1個 ON時非常停止動作
             BZRSTスイッチ EMGスイッチON時のブザー音停止            
9、全体外形寸法  W430mm×D510mm×H443mm程度

正極取扱説明書PDFはこちら


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